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高精純石墨盤和常規(guī)石墨盤有什么不同

作者:jcshimo 發(fā)布時(shí)間:2026-01-22 03:08:05

高精純石墨盤和慣例石墨盤在純度、功用、運(yùn)用領(lǐng)域和制備工藝等方面存在明顯差異,具體如下:
純度
    高精純石墨盤:碳含量一般超越99.9%,甚至更高,對(duì)雜質(zhì)含量要求極為嚴(yán)厲,一般要求雜質(zhì)含量在0.01%以下。高純度使得其在一些對(duì)資料純凈度要求極高的領(lǐng)域能夠發(fā)揮關(guān)鍵作用。
    慣例石墨盤:碳含量一般在94%至99%之間,雜質(zhì)含量相對(duì)較高。
功用
高精純石墨盤
    化學(xué)穩(wěn)定性:極高,簡(jiǎn)直不與任何化學(xué)物質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng),在化工工作中,特別是需求抗腐蝕、耐高溫的環(huán)境下表現(xiàn)出色。
    電導(dǎo)率:電阻率極低,僅為慣例石墨盤的一小部分,在電子和電氣工作中具有共同優(yōu)勢(shì),常用于制作電極和電觸摸資料,能下降能耗,前進(jìn)設(shè)備功率。
    熱導(dǎo)率:是慣例石墨盤的兩倍以上,在需求快速熱傳導(dǎo)的運(yùn)用中至關(guān)重要,如在半導(dǎo)體制作中,能敏捷均勻地傳遞熱量,削減溫度梯度,確保晶圓的均勻加熱。
    機(jī)械強(qiáng)度和耐性:在高溫下表現(xiàn)出更好的功用,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更好,例如在冶金工作中,可用于制作坩堝和模具,在極點(diǎn)溫度下堅(jiān)持形狀而不變形或分裂。
    表面硬度:較高,耐磨功用優(yōu)異,在機(jī)械加工中,常被用作潤(rùn)滑劑或涂層,能削減抵觸,延伸設(shè)備的運(yùn)用壽命,甚至在某些高精度機(jī)械加工中可替代傳統(tǒng)金屬資料,削減磨損和前進(jìn)加工精度。
    慣例石墨盤:化學(xué)穩(wěn)定性、電導(dǎo)率、熱導(dǎo)率、機(jī)械強(qiáng)度和耐性等方面相對(duì)較弱,難以滿足一些對(duì)資料功用要求極高的運(yùn)用場(chǎng)景。
運(yùn)用領(lǐng)域
高精純石墨盤:
    半導(dǎo)體制作:用于晶圓加熱、熱處理和等離子體刻蝕設(shè)備等。
    新能源:作為鋰離子電池的負(fù)極資料,推動(dòng)電動(dòng)車和可再生能源的展開。
    核工業(yè):因?yàn)槠鋬?yōu)異的中子吸收能力和高溫穩(wěn)定性,用于制作核反應(yīng)堆的控制棒和屏蔽資料。
    化工:抗腐蝕性使其成為化工設(shè)備的志趣資料。
    機(jī)械加工:作為高精度加工的潤(rùn)滑劑和模具資料。
    慣例石墨盤:首要運(yùn)用于一些對(duì)資料功用要求不高的領(lǐng)域,如一般性的耐火資料制作、一般機(jī)械加工的輔助工具等。
制備工藝
    高精純石墨盤:制備進(jìn)程更為凌亂和嚴(yán)厲,需求選用灰分極低的資料,多數(shù)選用模壓或等靜壓成型,石墨化溫度高,并在石墨化進(jìn)程中通入鹵族元素氣體以下降雜質(zhì)含量,某些高精純石墨器材還會(huì)在表面涂厚度為10-20um的熱解石墨以前進(jìn)抗氧化性。
    慣例石墨盤:制備工藝相對(duì)簡(jiǎn)略,對(duì)資料和工藝參數(shù)的要求沒有那么苛刻。

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